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低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810090423.5
申请日：
2018-01-30
公开(公告)号：
CN108336132A
公开(公告)日：
2018-07-27
发明(设计)人：
易国霞
申请人：
申请人地址：
430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
IPC主分类号：
H01L2910
IPC分类号：
H01L29786
H01L21336
代理机构：
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人：
孙伟峰;武岑飞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/10 申请日:20180130 |
| 2018-07-27 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-14 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 29/10 申请公布日:20180727 |