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一种化学气相沉积装置及其喷头
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811070485.6
申请日：
2018-09-13
公开(公告)号：
CN110894597A
公开(公告)日：
2020-03-20
发明(设计)人：
吴天成
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
代理机构：
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人：
袁礼君;阚梓瑄
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-20 | 公开 | 公开 |
| 2020-04-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180913 |