真空处理设备、使用该真空处理设备制造图像显示设备的方法以及由该真空处理设备制造的电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880100331.5

申请日：

2008-03-28

公开(公告)号：

CN101790597A

公开(公告)日：

2010-07-28

发明(设计)人：

井上雅人松井绅姬路俊明

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006041103 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2008801003315 申请日:20080328
2012-02-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101290123392 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2008801003315 公开日:20100728

共 50 条

[1]

真空处理设备、真空处理方法、电子装置及其制造方法 [P].

吉冈胜也 .

中国专利 :CN101567311A ,2009-10-28

[2]

真空处理设备、真空处理方法和电子装置制造方法 [P].

山本一 ;

今井洋之 .

中国专利 :CN102047406A ,2011-05-04

[3]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

佐长谷肇 ;

渡边直树 ;

徐舸 .

中国专利 :CN102191480A ,2011-09-21

[4]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

J·拉姆 ;

B·威德里格 ;

S·卡塞曼 ;

M·D·皮门塔 ;

O·马斯勒 ;

B·汉塞尔曼 .

中国专利 :CN101743338A ,2010-06-16

[5]

真空处理设备、控制真空处理设备的方法及器件制造方法 [P].

白井泰幸 .

中国专利 :CN101532582A ,2009-09-16

[6]

真空处理设备及真空处理设备的控制方法 [P].

张波 ;

余龙 ;

耿生煌 .

中国专利 :CN119121164A ,2024-12-13

[7]

真空处理设备 [P].

约亨·克劳瑟 .

中国专利 :CN204644463U ,2015-09-16

[8]

真空处理设备 [P].

芦成 .

中国专利 :CN309314458S ,2025-05-30

[9]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN103392226A ,2013-11-13

[10]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

中国专利 :CN110434886A ,2019-11-12

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