一种应用于铜互连扩散阻挡层的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810041890.5

申请日：

2008-08-19

公开(公告)号：

CN101345208A

公开(公告)日：

2009-01-14

发明(设计)人：

康晓旭

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区碧波路177号华虹科技园4楼B区

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101086305958 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2008100418905 申请日:20080819
2014-07-16	授权	授权
2021-07-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20080819 授权公告日:20140716 终止日期:20200819
2009-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种扩散阻挡层的制作方法 [P].

康晓旭 .

中国专利 :CN101017793A ,2007-08-15

[2]

扩散阻挡层与铜互连线层制作的方法 [P].

罗先刚 ;

乔帮威 ;

高平 ;

向遥 ;

曾鑫 ;

邓坤 .

中国专利 :CN117524979A ,2024-02-06

[3]

一种铜互连扩散阻挡层及其制备方法 [P].

卢红亮 ;

张远 ;

丁士进 ;

张卫 .

中国专利 :CN103928440A ,2014-07-16

[4]

铜互连用扩散阻挡层、铜互连结构及其制备方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119673891A ,2025-03-21

[5]

一种用于铜互连的合金抗铜扩散阻挡层及其制造方法 [P].

孙清清 ;

房润辰 ;

张卫 ;

王鹏飞 ;

周鹏 .

中国专利 :CN102881677A ,2013-01-16

[6]

铜扩散阻挡层的制备方法 [P].

朱德龙 .

中国专利 :CN110957264A ,2020-04-03

[7]

一种铜阻挡层制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103187358B ,2013-07-03

[8]

一种适用于铜互连的Ru/WHfN抗铜扩散阻挡层及其制备方法 [P].

丁士进 ;

胡龙龙 ;

杨春晓 ;

张卫 ;

王鹏飞 .

中国专利 :CN102142428B ,2011-08-03

[9]

一种用于铜互连的混合介质抗铜扩散阻挡层及其制造方法 [P].

孙清清 ;

房润辰 ;

郑珊 ;

张卫 ;

王鹏飞 ;

周鹏 .

中国专利 :CN102832199A ,2012-12-19

[10]

制作扩散阻挡层的方法 [P].

徐强 .

中国专利 :CN102110639A ,2011-06-29

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