一种脉冲溅射镀膜工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711472669.0

申请日：

2017-12-29

公开(公告)号：

CN108588651A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

陈杰锋陈有贤杨亚军

申请人：

申请人地址：

518111 广东省深圳市龙岗区平湖镇辅城坳工业区A9栋1至3层

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1402 C23C1826 C23C1828 C23C1840 C23C1832

代理机构：

北京市盈科律师事务所 11344

代理人：

谌杰君

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20180928
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20171229
2018-09-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于溅射镀膜工艺的立式晶片镀膜治具 [P].

王兆奇 ;

沈培忠 .

中国专利 :CN221166724U ,2024-06-18

[2]

磁控阴极溅射镀膜工艺室 [P].

陆仁立 .

中国专利 :CN203411603U ,2014-01-29

[3]

一种溅射镀膜机 [P].

吴磊 ;

郝力强 ;

贾振 ;

马中生 .

中国专利 :CN216550671U ,2022-05-17

[4]

一种双腔室溅射镀膜设备和镀膜工艺 [P].

张心凤 ;

刘洋 ;

汪鹏 .

中国专利 :CN119392198A ,2025-02-07

[5]

一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺 [P].

王萌 ;

刘冬生 ;

刘翰知 ;

赵欣 .

中国专利 :CN120400779B ,2025-11-07

[6]

一种多离子源同步溅射镀膜装置及工艺 [P].

王萌 ;

刘冬生 ;

刘翰知 ;

赵欣 .

中国专利 :CN120400779A ,2025-08-01

[7]

一种真空溅射镀膜及其工艺 [P].

李均平 ;

贾祥文 ;

韩阳 ;

张威 ;

邹健 .

中国专利 :CN111607773A ,2020-09-01

[8]

一种溅射镀膜的遮挡修正机构及其溅射镀膜装置 [P].

高佳 ;

周征华 ;

宋加杰 ;

赵金雷 ;

王随随 .

中国专利 :CN223607340U ,2025-11-28

[9]

高平整度端子接口真空溅射镀膜工艺 [P].

贾建国 .

中国专利 :CN118086826A ,2024-05-28

[10]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

胡兴微 ;

蒋玉东 .

中国专利 :CN212152430U ,2020-12-15

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