多层王冠型金属-绝缘体-金属电容器结构及其制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510669703.8
申请日
2015-10-13
公开(公告)号
CN106505063B
公开(公告)日
2017-03-15
发明(设计)人
车行远 翁文毅
申请人
申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区
IPC主分类号
H01L2364
IPC分类号
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
陈小雯
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
金属-绝缘体-金属电容器结构及其制作方法 [P]. 
洪雅娟 ;
蔡馥郁 .
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[2]
金属-绝缘体-金属电容器结构及其制作方法 [P]. 
高永亮 ;
陈辉 .
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[3]
金属-绝缘体-金属电容结构及其制作方法 [P]. 
高新立 ;
孙自军 ;
李雪林 .
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[4]
形成电容器结构的方法和金属-绝缘体-金属电容器结构 [P]. 
曾宣翰 ;
陈春元 ;
周禄盛 ;
曾晓晖 ;
施俊吉 .
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[5]
金属-绝缘体-金属(MIM)电容器结构及其制作方法 [P]. 
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K·塞兹 .
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[6]
金属-绝缘体-金属电容器结构 [P]. 
R·亚库什卡斯 ;
V·斯里尼瓦斯 ;
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[7]
金属-绝缘体-金属电容器结构 [P]. 
R·亚库什卡斯 ;
V·斯里尼瓦斯 ;
R·W·C·金 .
中国专利 :CN105324862A ,2016-02-10
[8]
金属-绝缘体-金属电容器结构 [P]. 
黄致凡 ;
高弘昭 ;
萧远洋 ;
萧琮介 ;
沈香谷 ;
陈蕙祺 ;
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陈燕铭 .
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[9]
金属-绝缘体-金属电容器的制作方法 [P]. 
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黄鹏 ;
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[10]
金属-绝缘体-金属电容器结构及形成方法 [P]. 
张志敏 ;
陈献龙 .
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