硅晶片脱胶工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610200158.2

申请日：

2016-03-31

公开(公告)号：

CN105855213A

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

白青松张力峰田利中邹文龙梁会宁

申请人：

申请人地址：

215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村晶樱光电

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B312 B08B310 C09J402 C09J406 C09J1104 C09J1106

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	公开	公开
2016-09-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101678618628 IPC(主分类):B08B 3/02 专利申请号:2016102001582 申请日:20160331
2018-09-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B08B 3/02 申请公布日:20160817

共 50 条

[1]

硅晶片清洗工艺 [P].

邹文龙 ;

张力峰 ;

田利中 ;

白青松 ;

梁会宁 .

中国专利 :CN105655239B ,2016-06-08

[2]

一种硅晶片脱胶用脱胶插片花篮 [P].

陈锡元 ;

朱在峰 ;

田振斌 .

中国专利 :CN208062034U ,2018-11-06

[3]

硅晶片加工液及硅晶片加工方法 [P].

北村友彦 .

中国专利 :CN103053010B ,2013-04-17

[4]

小野敏昭 ;

高奉均 .

中国专利 :CN111164240B ,2020-05-15

[5]

仙田刚士 ;

泉妻宏治 .

中国专利 :CN105814245B ,2016-07-27

[6]

仙田刚士 ;

泉妻宏治 .

中国专利 :CN108461384A ,2018-08-28

[7]

小野敏昭 ;

梅野繁 .

中国专利 :CN111051580A ,2020-04-21

[8]

渡边隆 ;

齐藤广幸 ;

仙田刚士 ;

泉妻宏治 ;

鹿岛一日儿 .

中国专利 :CN101074489A ,2007-11-21

[9]

前田进 ;

番场博则 ;

须藤治生 ;

冈村秀幸 ;

荒木浩司 ;

末冈浩治 ;

中村浩三 .

中国专利 :CN109075076A ,2018-12-21

[10]

硅晶片研磨之后的清洗工艺 [P].

柴晶(音译) ;

亨利·F·伊尔克 ;

朱迪斯·A·施密特 ;

托马斯·E·达尼 .

中国专利 :CN1281588A ,2001-01-24

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