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互连结构及其制备方法

被引：0
申请号：
CN202210229023.4
申请日：
2022-03-10
公开(公告)号：
CN114361107B
公开(公告)日：
2022-04-15
发明(设计)人：
宋富冉 黄厚恒 周儒领
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L23538
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
杜娟娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-21 授权 授权
2022-05-03 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20220310
2022-04-15 公开 公开
共 50 条
[1]
形成互连结构的方法及互连结构 [P]. 
J·A·奥特 ;
A·A·伯尔 .
中国专利 :CN103579097A ,2014-02-12
[2]
铜互连结构的制备方法 [P]. 
鲍宇 .
中国专利 :CN106340488A ,2017-01-18
[3]
互连结构及其形成方法 [P]. 
金吉松 .
中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18
[4]
互连结构及其形成方法 [P]. 
聂佳相 .
中国专利 :CN102044475A ,2011-05-04
[5]
互连结构及其形成方法 [P]. 
徐建华 ;
邓浩 .
中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20
[6]
互连结构及其形成方法 [P]. 
王琪 .
中国专利 :CN102044471A ,2011-05-04
[7]
互连结构及其形成方法 [P]. 
邓浩 .
中国专利 :CN105140172A ,2015-12-09
[8]
互连结构及其形成方法 [P]. 
王琪 ;
周鸣 .
中国专利 :CN102054755A ,2011-05-11
[9]
互连结构及其形成方法 [P]. 
王琪 .
中国专利 :CN102034733A ,2011-04-27
[10]
铝互连结构及其形成方法 [P]. 
黑泽和则 .
中国专利 :CN110335816A ,2019-10-15
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