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一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920766035.4
申请日：
2019-05-27
公开(公告)号：
CN209571398U
公开(公告)日：
2019-11-01
发明(设计)人：
徐峥
申请人：
申请人地址：
473001 河南省南阳市信臣西路569号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589
代理人：
王志敏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-01 | 授权 | 授权 |