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一种晶圆轨道搬运装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421073224.0
申请日：
2024-05-16
公开(公告)号：
CN222261001U
公开(公告)日：
2024-12-27
发明(设计)人：
姚胤宏 邱亦睿
申请人：
厦门理工学院
申请人地址：
361024 福建省厦门市集美区理工路600号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101
代理人：
李权
法律状态：
授权
国省代码：
福建省 厦门市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-12-27 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于玻璃晶圆的智能搬运装置 [P]. 
徐峥 .
中国专利 :CN209571398U ,2019-11-01
[2]
一种晶圆搬运装置 [P]. 
袁慧珠 ;
张明明 .
中国专利 :CN117096088B ,2024-02-02
[3]
一种晶圆搬运装置 [P]. 
苗涛 ;
吴天尧 ;
师海月 ;
高嘉伟 ;
陈志 .
中国专利 :CN222380563U ,2025-01-21
[4]
一种晶圆搬运装置 [P]. 
徐枭宇 ;
郑东州 .
中国专利 :CN217822700U ,2022-11-15
[5]
一种晶圆搬运装置 [P]. 
邹宇斯 ;
王金池 ;
下野智成 .
中国专利 :CN218385147U ,2023-01-24
[6]
一种晶圆搬运装置及晶圆传送系统 [P]. 
谢光训 .
中国专利 :CN221613853U ,2024-08-27
[7]
一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备 [P]. 
曾凡贵 .
中国专利 :CN217359573U ,2022-09-02
[8]
一种晶圆双臂搬运装置 [P]. 
沈佳宁 ;
曹聪 ;
钱善华 ;
慕达 ;
李欣菲 ;
陈雨馨 .
中国专利 :CN222507585U ,2025-02-18
[9]
一种晶圆自动搬运装置 [P]. 
张海洋 ;
刘伟 ;
吕文波 ;
徐欣琦 .
中国专利 :CN221304625U ,2024-07-09
[10]
一种晶圆旋转搬运装置 [P]. 
周炳 .
中国专利 :CN222214143U ,2024-12-20
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