金属布线沟槽的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910054950.1

申请日：

2009-07-16

公开(公告)号：

CN101958277B

公开(公告)日：

2011-01-26

发明(设计)人：

李凡洪中山

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-23	授权	授权
2012-12-05	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101478751916 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009100549501 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121101
2011-01-26	公开	公开
2011-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101058492522 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009100549501 申请日:20090716

共 50 条

[1]

形成沟槽的方法 [P].

王新鹏 ;

黄怡 .

中国专利 :CN101930916B ,2010-12-29

[2]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104616980B ,2017-11-28

[3]

金属栅极的形成方法 [P].

陈枫 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN102637586A ,2012-08-15

[4]

金属栅极的形成方法 [P].

韩秋华 ;

李凤莲 .

中国专利 :CN104616981A ,2015-05-13

[5]

金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 .

中国专利 :CN102543702A ,2012-07-04

[6]

沟槽的形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN102044482A ,2011-05-04

[7]

沟槽的形成方法 [P].

周鸣 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101587837A ,2009-11-25

[8]

沟槽的形成方法 [P].

李凡 ;

洪中山 .

中国专利 :CN102214567B ,2011-10-12

[9]

铝金属栅极的形成方法 [P].

蒋莉 ;

黎铭琦 .

中国专利 :CN102543700A ,2012-07-04

[10]

深沟槽的形成方法 [P].

肖培 .

中国专利 :CN102324387A ,2012-01-18

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