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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-25 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/683 变更事项:专利权人 变更前:日立化成株式会社 变更后:昭和电工材料株式会社 变更事项:地址 变更前:日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号 变更后:日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号 |
| 2017-06-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101727000156 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2015102680061 申请日:20150522 |
| 2020-11-20 | 授权 | 授权 |
| 2015-12-09 | 公开 | 公开 |