半色调掩模、光掩模坯和半色调掩模的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780070660.9

申请日：

2017-12-25

公开(公告)号：

CN109983402B

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

山田慎吾森山久美子美作昌宏

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

G03F132

IPC分类号：

G03F740

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/32 申请日:20171225
2019-07-05	公开	公开
2022-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

半色调掩模、光掩模坯和半色调掩模的制造方法 [P].

美作昌宏 .

中国专利 :CN110023836B ,2019-07-16

[2]

半色调掩模和半色调掩模坯 [P].

齐藤隆史 .

中国专利 :CN107589630A ,2018-01-16

[3]

掩模坯、半色调掩模、掩模坯的制造方法及半色调掩模的制造方法 [P].

诸沢成浩 .

中国专利 :CN111025840A ,2020-04-17

[4]

掩模坯、半色调掩模、制造方法、制造装置 [P].

诸沢成浩 ;

汐崎英治 .

中国专利 :CN112015044A ,2020-12-01

[5]

半色调相移掩模坯和半色调相移掩模 [P].

笹本纮平 ;

高坂卓郎 ;

稻月判臣 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN106019810B ,2016-10-12

[6]

半色调相移掩模坯和半色调相移掩模 [P].

稻月判臣 ;

高坂卓郎 ;

笹本纮平 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN107870507A ,2018-04-03

[7]

半色调相移光掩模坯和制造方法 [P].

高坂卓郎 ;

稻月判臣 ;

金子英雄 .

中国专利 :CN106997145B ,2017-08-01

[8]

灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法 [P].

佐野道明 .

中国专利 :CN101673049A ,2010-03-17

[9]

多色调光掩模、光掩模坯体、多色调光掩模的制造方法和图案转印方法 [P].

吉川裕 ;

福元友德 .

中国专利 :CN101989043B ,2011-03-23

[10]

光掩模和光掩模坯以及光掩模的制造方法 [P].

山田慎吾 ;

森山久美子 ;

美作昌宏 .

中国专利 :CN108693697B ,2018-10-23

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