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掩模坯、半色调掩模、制造方法、制造装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010453412.6
申请日：
2020-05-26
公开(公告)号：
CN112015044A
公开(公告)日：
2020-12-01
发明(设计)人：
诸沢成浩
汐崎英治
申请人：
申请人地址：
日本崎玉县
IPC主分类号：
G03F132
IPC分类号：
代理机构：
北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人：
朴圣洁;王珍仙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/32 申请日:20200526 |
| 2020-12-01 | 公开 | 公开 |