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DBD等离子体反应器的控制系统、方法、装置及介质
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010295161.3
申请日
:
2020-04-15
公开(公告)号
:
CN111459070A
公开(公告)日
:
2020-07-28
发明(设计)人
:
宋成胜
任现文
黄建芳
袁彦辉
伍英泉
申请人
:
申请人地址
:
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1303号鸿信工业园9号厂房401
IPC主分类号
:
G05B19042
IPC分类号
:
G05F166
G01D2102
H05H124
B01D5332
代理机构
:
深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285
代理人
:
常忠良
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-07-28
公开
公开
2020-08-21
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/042 申请日:20200415
2021-07-20
授权
授权
共 50 条
[1]
DBD等离子体反应器
[P].
席振峰
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0
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0
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机构:
北京大学
北京大学
席振峰
;
陈萍
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机构:
北京大学
北京大学
陈萍
;
郁磊
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机构:
北京大学
北京大学
郁磊
;
魏俊年
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机构:
北京大学
北京大学
魏俊年
;
郭建平
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机构:
北京大学
北京大学
郭建平
;
刘亮
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机构:
北京大学
北京大学
刘亮
;
张世雄
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机构:
北京大学
北京大学
张世雄
.
中国专利
:CN119680496B
,2025-10-24
[2]
DBD等离子体反应器
[P].
席振峰
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机构:
北京大学
北京大学
席振峰
;
陈萍
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机构:
北京大学
北京大学
陈萍
;
郁磊
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机构:
北京大学
北京大学
郁磊
;
魏俊年
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机构:
北京大学
北京大学
魏俊年
;
郭建平
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机构:
北京大学
北京大学
郭建平
;
刘亮
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机构:
北京大学
北京大学
刘亮
;
张世雄
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机构:
北京大学
北京大学
张世雄
.
中国专利
:CN119680496A
,2025-03-25
[3]
一种基于DBD等离子体反应器的神经网路自适应温度控制系统及方法
[P].
赵志国
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机构:
大连工业大学
大连工业大学
赵志国
;
黄俊松
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机构:
大连工业大学
大连工业大学
黄俊松
.
中国专利
:CN119759125A
,2025-04-04
[4]
一种基于DBD等离子体反应器的神经网路自适应温度控制系统及方法
[P].
赵志国
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机构:
大连工业大学
大连工业大学
赵志国
;
黄俊松
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机构:
大连工业大学
大连工业大学
黄俊松
.
中国专利
:CN119759125B
,2025-12-12
[5]
用于控制等离子体反应器的系统
[P].
C·P·汤姆
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C·P·汤姆
;
李巍
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李巍
;
谢飞
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谢飞
.
中国专利
:CN113795904A
,2021-12-14
[6]
等离子体反应器及等离子体反应器在线清焦方法
[P].
宋项宁
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宋项宁
;
李超
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李超
;
赵乾斌
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赵乾斌
;
隋立华
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隋立华
.
中国专利
:CN112536008A
,2021-03-23
[7]
用于RF等离子体反应器的等离子体鞘控制
[P].
艾丽亚·斯劳伯道夫
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艾丽亚·斯劳伯道夫
;
迪麦西·津巴
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迪麦西·津巴
;
肯尼斯·米勒
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肯尼斯·米勒
;
詹姆斯·普拉格
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詹姆斯·普拉格
.
中国专利
:CN112805920A
,2021-05-14
[8]
等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法
[P].
崔相敦
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崔相敦
.
中国专利
:CN104025720A
,2014-09-03
[9]
等离子体反应器、等离子体处理工件的方法
[P].
梁奇伟
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
梁奇伟
;
斯里尼瓦斯·D·内曼尼
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
斯里尼瓦斯·D·内曼尼
.
美国专利
:CN115954255B
,2025-05-16
[10]
等离子体反应器、等离子体处理工件的方法
[P].
梁奇伟
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梁奇伟
;
斯里尼瓦斯·D·内曼尼
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斯里尼瓦斯·D·内曼尼
.
中国专利
:CN110710056B
,2020-01-17
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