DBD等离子体反应器的控制系统、方法、装置及介质

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010295161.3
申请日
2020-04-15
公开(公告)号
CN111459070A
公开(公告)日
2020-07-28
发明(设计)人
宋成胜 任现文 黄建芳 袁彦辉 伍英泉
申请人
申请人地址
518000 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1303号鸿信工业园9号厂房401
IPC主分类号
G05B19042
IPC分类号
G05F166 G01D2102 H05H124 B01D5332
代理机构
深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285
代理人
常忠良
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
DBD等离子体反应器 [P]. 
席振峰 ;
陈萍 ;
郁磊 ;
魏俊年 ;
郭建平 ;
刘亮 ;
张世雄 .
中国专利 :CN119680496B ,2025-10-24
[2]
DBD等离子体反应器 [P]. 
席振峰 ;
陈萍 ;
郁磊 ;
魏俊年 ;
郭建平 ;
刘亮 ;
张世雄 .
中国专利 :CN119680496A ,2025-03-25
[3]
一种基于DBD等离子体反应器的神经网路自适应温度控制系统及方法 [P]. 
赵志国 ;
黄俊松 .
中国专利 :CN119759125A ,2025-04-04
[4]
一种基于DBD等离子体反应器的神经网路自适应温度控制系统及方法 [P]. 
赵志国 ;
黄俊松 .
中国专利 :CN119759125B ,2025-12-12
[5]
用于控制等离子体反应器的系统 [P]. 
C·P·汤姆 ;
李巍 ;
谢飞 .
中国专利 :CN113795904A ,2021-12-14
[6]
等离子体反应器及等离子体反应器在线清焦方法 [P]. 
宋项宁 ;
李超 ;
赵乾斌 ;
隋立华 .
中国专利 :CN112536008A ,2021-03-23
[7]
用于RF等离子体反应器的等离子体鞘控制 [P]. 
艾丽亚·斯劳伯道夫 ;
迪麦西·津巴 ;
肯尼斯·米勒 ;
詹姆斯·普拉格 .
中国专利 :CN112805920A ,2021-05-14
[8]
等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法 [P]. 
崔相敦 .
中国专利 :CN104025720A ,2014-09-03
[9]
等离子体反应器、等离子体处理工件的方法 [P]. 
梁奇伟 ;
斯里尼瓦斯·D·内曼尼 .
美国专利 :CN115954255B ,2025-05-16
[10]
等离子体反应器、等离子体处理工件的方法 [P]. 
梁奇伟 ;
斯里尼瓦斯·D·内曼尼 .
中国专利 :CN110710056B ,2020-01-17