形成深沟槽的方法和深沟槽隔离结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610720080.7

申请日：

2016-08-25

公开(公告)号：

CN106601673A

公开(公告)日：

2017-04-26

发明(设计)人：

郭富强陈盈薰郭仕奇李宗宪

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

H01L2182

IPC分类号：

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;李伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-26	公开	公开
2019-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/82 申请日:20160825
2021-06-01	授权	授权

共 50 条

[1]

深沟槽隔离结构 [P].

S·M·尚克 ;

D·沃恩 ;

T·段 .

中国专利 :CN109817696B ,2019-05-28

[2]

带分段深沟槽的深沟槽隔离 [P].

B·胡 ;

Y·邵 ;

J·K·艾瑞诗 .

中国专利 :CN114497175A ,2022-05-13

[3]

深沟槽隔离结构及其形成方法 [P].

赖志育 ;

周正贤 ;

蔡正原 ;

江彦廷 ;

杜友伦 .

中国专利 :CN106486506A ,2017-03-08

[4]

深沟槽隔离结构的制备方法及深沟槽隔离结构 [P].

周成 .

中国专利 :CN118866808A ,2024-10-29

[5]

深沟槽隔离结构的制备方法及深沟槽隔离结构 [P].

周成 .

中国专利 :CN118866808B ,2024-12-10

[6]

深沟槽隔离及其形成方法 [P].

周正贤 ;

曾晓晖 ;

赖志育 ;

周世培 ;

江彦廷 ;

蔡敏瑛 .

中国专利 :CN106486412A ,2017-03-08

[7]

深沟槽隔离结构的制备方法 [P].

唐念 ;

刘文虎 ;

张青 ;

张拥华 ;

李荷莉 .

中国专利 :CN116487320B ,2024-01-30

[8]

深沟槽隔离结构及其制造方法 [P].

王俊杰 .

中国专利 :CN120767247A ,2025-10-10

[9]

偏置深沟槽隔离 [P].

郑源伟 ;

陈刚 ;

毛杜立 ;

戴森·H·戴 ;

马毅 .

中国专利 :CN107195644B ,2017-09-22

[10]

一种深沟槽隔离结构的形成方法 [P].

郭哲劭 ;

林智伟 .

中国专利 :CN117976683A ,2024-05-03

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