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带分段深沟槽的深沟槽隔离
被引：0
申请号：
CN202111219226.7
申请日：
2021-10-20
公开(公告)号：
CN114497175A
公开(公告)日：
2022-05-13
发明(设计)人：
B·胡
Y·邵
J·K·艾瑞诗
申请人：
申请人地址：
美国德克萨斯州
IPC主分类号：
H01L2906
IPC分类号：
H01L21762
代理机构：
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人：
徐东升
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-13 | 公开 | 公开 |