待测物的辅助对位方法与其系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210177054.6

申请日：

2012-05-31

公开(公告)号：

CN103424407A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

汪光夏邱诗彰吕彦德曹育铭

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

代理机构：

北京市浩天知识产权代理事务所 11276

代理人：

刘云贵

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	公开	公开
2015-12-16	授权	授权
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101558130141 IPC(主分类):G01N 21/88 专利申请号:2012101770546 申请日:20120531

共 50 条

[1]

待测产品的对位方法及装置 [P].

徐大鹏 ;

罕方平 .

中国专利 :CN105717395A ,2016-06-29

[2]

量测待测物长度的系统及方法 [P].

陈吉宝 .

中国专利 :CN104729443A ,2015-06-24

[3]

待测物的接触检查系统 [P].

姜富元 ;

陈昭旭 ;

王耀南 .

中国专利 :CN101846710B ,2010-09-29

[4]

量测待测物散射参数的方法 [P].

文圣友 .

中国专利 :CN102841261A ,2012-12-26

[5]

待曝光基材及底片的对位方法及影像检测对位系统 [P].

徐嘉伟 ;

王启毓 ;

张茂和 .

中国专利 :CN103034072A ,2013-04-10

[6]

待测物重心确定的方法 [P].

刘大为 ;

田鸿翔 ;

杨剑 ;

李启明 ;

李腾 ;

田仲伟 ;

马铭远 .

中国专利 :CN106044566A ,2016-10-26

[7]

检测待测物的缺陷深度的系统及方法 [P].

吴金来 ;

郑加传 ;

彭朋畿 ;

姬俊宇 .

中国专利 :CN103134822A ,2013-06-05

[8]

待测物图像校正方法及系统 [P].

吴益盛 ;

曹凯翔 .

中国专利 :CN114742743B ,2025-12-23

[9]

检测待测物的试剂及其方法 [P].

G·P·雷 ;

G·S·阿加沃 ;

S·M·P·雷杰 ;

K·瑟卡拉 ;

A·K·苏德 ;

A·S·尼吉 .

中国专利 :CN101680894A ,2010-03-24

[10]

免校式光标追踪对位方法与其系统 [P].

连智伟 ;

汤俊祺 ;

杨宇翔 .

中国专利 :CN103376919A ,2013-10-30

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