一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111589712.8

申请日：

2021-12-23

公开(公告)号：

CN114242630A

公开(公告)日：

2022-03-25

发明(设计)人：

崔贤斌金柱炫李在桓

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L2167 B08B304

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

归莹;沈寒酉

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-25	公开	公开
2022-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20211223

共 50 条

[1]

一种用于硅片清洗的承载装置、设备及硅片 [P].

崔贤斌 ;

金柱炫 ;

李在桓 .

中国专利 :CN114242630B ,2025-08-08

[2]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[3]

一种硅片的承载装置 [P].

沈彪 ;

李向清 ;

胡德良 .

中国专利 :CN202189765U ,2012-04-11

[4]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[5]

一种硅片清洗承载装置 [P].

古元甲 ;

史丹梅 ;

赵朋占 ;

辛超 ;

刘沛然 ;

王少刚 ;

田志民 ;

孙毅 ;

艾传令 ;

郝红月 ;

兰爽 .

中国专利 :CN212494238U ,2021-02-09

[6]

一种硅片清洗承载装置 [P].

卢娇 .

中国专利 :CN217158158U ,2022-08-09

[7]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN112151428A ,2020-12-29

[8]

硅片承载装置 [P].

蔡媛媛 ;

徐永帅 .

中国专利 :CN223244520U ,2025-08-19

[9]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN112151428B ,2024-11-01

[10]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN212342589U ,2021-01-12

← 1 2 3 4 5 →