一种硅片清洗承载装置

被引：0

申请号：

CN202123291596.X

申请日：

2021-12-25

公开(公告)号：

CN217158158U

公开(公告)日：

2022-08-09

发明(设计)人：

卢娇

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区天山路6-2504

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323

代理人：

吕志垚

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗承载装置 [P].

古元甲 ;

史丹梅 ;

赵朋占 ;

辛超 ;

刘沛然 ;

王少刚 ;

田志民 ;

孙毅 ;

艾传令 ;

郝红月 ;

兰爽 .

中国专利 :CN212494238U ,2021-02-09

[2]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[3]

一种硅片承载装置 [P].

高晗 ;

吴明贵 ;

刘小明 ;

张清清 ;

龚汉亮 .

中国专利 :CN216818295U ,2022-06-24

[4]

一种硅片承载装置 [P].

廖余华 ;

赵晔 ;

王诗合 .

中国专利 :CN202038590U ,2011-11-16

[5]

一种硅片承载装置 [P].

张春华 ;

陈佳男 ;

衡阳 ;

郑旭然 ;

孟祥熙 ;

李栋 .

中国专利 :CN205282495U ,2016-06-01

[6]

一种硅片承载装置 [P].

顾韻 ;

陆宇 .

中国专利 :CN222281949U ,2024-12-31

[7]

一种硅片承载装置和承载系统 [P].

孙少东 ;

周厉颖 .

中国专利 :CN203950792U ,2014-11-19

[8]

硅片承载装置 [P].

蔡媛媛 ;

徐永帅 .

中国专利 :CN223244520U ,2025-08-19

[9]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 .

中国专利 :CN220382061U ,2024-01-23

[10]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN212342589U ,2021-01-12

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