光掩模、光掩模的设计方法、光掩模坯料和显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610423251.X

申请日：

2016-06-15

公开(公告)号：

CN106324977A

公开(公告)日：

2017-01-11

发明(设计)人：

小林周平

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F126

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

庞东成

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-11	公开	公开
2017-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702031766 IPC(主分类):G03F 1/26 专利申请号:201610423251X 申请日:20160615

共 50 条

[1]

光掩模、光掩模的设计方法、光掩模坯料和显示装置的制造方法 [P].

小林周平 .

中国专利 :CN110262182A ,2019-09-20

[2]

光掩模、光掩模的设计方法、光掩模坯料和显示装置的制造方法 [P].

小林周平 .

中国专利 :CN112987484A ,2021-06-18

[3]

光掩模、光掩模的设计方法、光掩模坯料和显示装置的制造方法 [P].

小林周平 .

日本专利 :CN112987484B ,2024-09-10

[4]

光掩模、光掩模的制造方法、光掩模坯料以及显示装置的制造方法 [P].

今敷修久 ;

吉川裕 ;

菅原浩幸 .

中国专利 :CN105319831A ,2016-02-10

[5]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

日本专利 :CN113391515B ,2025-02-25

[6]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 .

中国专利 :CN113391515A ,2021-09-14

[7]

光掩模坯料、光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法及显示装置的制造方法 [P].

田边胜 ;

浅川敬司 ;

安森顺一 ;

石原重德 ;

花冈修 .

中国专利 :CN111258175A ,2020-06-09

[8]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107844026A ,2018-03-27

[9]

光掩模、光掩模的制造方法和显示装置的制造方法 [P].

山口昇 .

日本专利 :CN112506002B ,2025-08-01

[10]

光掩模的制造方法、光掩模和显示装置的制造方法 [P].

金台勋 ;

李锡薰 .

中国专利 :CN107861334A ,2018-03-30

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