基板处理装置的供气单元及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010079854.9

申请日：

2020-02-04

公开(公告)号：

CN111627830A

公开(公告)日：

2020-09-04

发明(设计)人：

孙亨圭李珍贤

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京钲霖知识产权代理有限公司 11722

代理人：

玉昌峰;李英艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20200204
2020-09-04	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理单元及基板处理装置 [P].

胜冈诚司 ;

关本雅彦 ;

渡边辉行 ;

加藤亮 ;

横山俊夫 ;

铃木宪一 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN1946486A ,2007-04-11

[2]

基板处理模块、基板处理装置以及基板处理单元 [P].

出口泰纪 .

日本专利 :CN118435322A ,2024-08-02

[3]

支承单元、基板处理装置及基板处理方法 [P].

方济午 ;

徐庚进 ;

安迎曙 .

中国专利 :CN112750728A ,2021-05-04

[4]

支承单元、基板处理装置及基板处理方法 [P].

方济午 ;

徐庚进 ;

安迎曙 .

韩国专利 :CN112750728B ,2024-05-24

[5]

包括喷嘴单元的基板处理装置及基板处理方法 [P].

李周桓 ;

李贤俊 ;

朴素永 ;

田明娥 .

韩国专利 :CN117727651A ,2024-03-19

[6]

回流处理单元及基板处理装置 [P].

张健 .

中国专利 :CN104347462B ,2015-02-11

[7]

回流处理单元及基板处理装置 [P].

张健 .

中国专利 :CN104347452B ,2015-02-11

[8]

基板加热单元、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金泰信 ;

郑暎大 ;

郑智训 ;

李智暎 ;

金源根 .

韩国专利 :CN113053777B ,2024-08-16

[9]

基板加热单元、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金泰信 ;

郑暎大 ;

郑智训 ;

李智暎 ;

金源根 .

中国专利 :CN113053777A ,2021-06-29

[10]

基板处理液回收单元及具有该单元的基板处理装置 [P].

崔叡珍 ;

方炳善 ;

姜兑昊 ;

文钟元 .

中国专利 :CN114558821A ,2022-05-31

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