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炉体装配用调节装置及半导体设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201820878865.1
申请日
:
2018-06-07
公开(公告)号
:
CN208468267U
公开(公告)日
:
2019-02-05
发明(设计)人
:
邱江虹
刘红丽
申请人
:
申请人地址
:
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号
:
B25B2714
IPC分类号
:
代理机构
:
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人
:
孙向民;廉莉莉
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-02-05
授权
授权
共 50 条
[1]
调节装置及半导体设备
[P].
吴瑶
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
吴瑶
.
中国专利
:CN223255430U
,2025-08-22
[2]
间距调节装置及半导体设备
[P].
李坤
论文数:
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
李坤
;
单翌
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
单翌
;
闫晓晖
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机构:
上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
闫晓晖
.
中国专利
:CN222389909U
,2025-01-24
[3]
压力调节装置及半导体处理设备
[P].
王帅
论文数:
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机构:
申集半导体科技(徐州)有限公司
申集半导体科技(徐州)有限公司
王帅
.
中国专利
:CN223511579U
,2025-11-04
[4]
调节组件和半导体设备
[P].
陈锐荣
论文数:
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
陈锐荣
;
李振宇
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
李振宇
;
盛培秀
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
盛培秀
;
邓鹏
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机构:
深圳市新凯来工业机器有限公司
深圳市新凯来工业机器有限公司
邓鹏
.
中国专利
:CN118553676A
,2024-08-27
[5]
调节装置以及半导体设备
[P].
李军
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机构:
宸微设备科技(苏州)有限公司
宸微设备科技(苏州)有限公司
李军
.
中国专利
:CN223296798U
,2025-09-02
[6]
炉体冷却装置及半导体加工设备
[P].
赵宏图
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赵宏图
;
杨帅
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杨帅
;
杨慧萍
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杨慧萍
;
王立卡
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王立卡
.
中国专利
:CN111023841A
,2020-04-17
[7]
炉体结构及半导体装置
[P].
林佳继
论文数:
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林佳继
;
龙占勇
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龙占勇
;
李洪
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李洪
;
刘群
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刘群
.
中国专利
:CN218329300U
,2023-01-17
[8]
炉体结构及半导体装置
[P].
林佳继
论文数:
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林佳继
;
龙占勇
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龙占勇
;
李洪
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李洪
;
刘群
论文数:
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刘群
.
中国专利
:CN115628616A
,2023-01-20
[9]
加热炉体和半导体设备
[P].
郝晓明
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郝晓明
;
郑建宇
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郑建宇
;
赵福平
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赵福平
;
盛强
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盛强
.
中国专利
:CN110527984A
,2019-12-03
[10]
一种半导体设备的炉体排气装置
[P].
刘红丽
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刘红丽
;
邱江虹
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邱江虹
;
康飞
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康飞
;
赵燕平
论文数:
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赵燕平
.
中国专利
:CN106328568A
,2017-01-11
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