炉体装配用调节装置及半导体设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201820878865.1
申请日
2018-06-07
公开(公告)号
CN208468267U
公开(公告)日
2019-02-05
发明(设计)人
邱江虹 刘红丽
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号
B25B2714
IPC分类号
代理机构
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人
孙向民;廉莉莉
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
调节装置及半导体设备 [P]. 
吴瑶 .
中国专利 :CN223255430U ,2025-08-22
[2]
间距调节装置及半导体设备 [P]. 
李坤 ;
单翌 ;
闫晓晖 .
中国专利 :CN222389909U ,2025-01-24
[3]
压力调节装置及半导体处理设备 [P]. 
王帅 .
中国专利 :CN223511579U ,2025-11-04
[4]
调节组件和半导体设备 [P]. 
陈锐荣 ;
李振宇 ;
盛培秀 ;
邓鹏 .
中国专利 :CN118553676A ,2024-08-27
[5]
调节装置以及半导体设备 [P]. 
李军 .
中国专利 :CN223296798U ,2025-09-02
[6]
炉体冷却装置及半导体加工设备 [P]. 
赵宏图 ;
杨帅 ;
杨慧萍 ;
王立卡 .
中国专利 :CN111023841A ,2020-04-17
[7]
炉体结构及半导体装置 [P]. 
林佳继 ;
龙占勇 ;
李洪 ;
刘群 .
中国专利 :CN218329300U ,2023-01-17
[8]
炉体结构及半导体装置 [P]. 
林佳继 ;
龙占勇 ;
李洪 ;
刘群 .
中国专利 :CN115628616A ,2023-01-20
[9]
加热炉体和半导体设备 [P]. 
郝晓明 ;
郑建宇 ;
赵福平 ;
盛强 .
中国专利 :CN110527984A ,2019-12-03
[10]
一种半导体设备的炉体排气装置 [P]. 
刘红丽 ;
邱江虹 ;
康飞 ;
赵燕平 .
中国专利 :CN106328568A ,2017-01-11