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一种自动上料晶圆贴膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110154519.5
申请日：
2021-02-04
公开(公告)号：
CN112992728A
公开(公告)日：
2021-06-18
发明(设计)人：
郑月英
申请人：
申请人地址：
510665 广东省广州市天河区银燕路166号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20220126 变更事项:申请人 变更前权利人:广州市乐薇商贸有限公司 变更后权利人:李岁敏 变更事项:地址 变更前权利人:510665 广东省广州市天河区银燕路166号 变更后权利人:510665 广东省广州市天河区银燕路166号 |
| 2021-06-18 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210204 |