共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆贴膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311843648.0
申请日：
2023-12-29
公开(公告)号：
CN117855128A
公开(公告)日：
2024-04-09
发明(设计)人：
陈盛荣
刘欣
李凤珍
蒋英敏
饶锡平
张子涵
申请人：
广东气派科技有限公司
申请人地址：
523330 广东省东莞市石排镇气派科技路气派大厦
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380
代理人：
吴雅丽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
广东省
东莞市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20231229 |
| 2024-04-09 | 公开 | 公开 |