晶圆移载割膜装置及晶圆贴膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420464347.0

申请日：

2024-03-11

公开(公告)号：

CN222628013U

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

杨善斌范志平刘攀卢少君

申请人：

广东思沃先进装备有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋

IPC主分类号：

B26D7/26

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/677 B26D7/10 B26D7/06 B26D7/01 B26D1/06

代理机构：

东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450

代理人：

马建宁

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法 [P].

黄平 .

中国专利 :CN119480718A ,2025-02-18

[2]

晶圆载移设备及贴膜设备 [P].

王建勋 ;

杨善斌 ;

范志平 .

中国专利 :CN120300045B ,2025-12-05

[3]

晶圆载移设备及贴膜设备 [P].

王建勋 ;

杨善斌 ;

范志平 .

中国专利 :CN120300045A ,2025-07-11

[4]

晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法 [P].

郭东谕 ;

陈聪 ;

宋喆宏 ;

李平 ;

李扬 .

中国专利 :CN119626966A ,2025-03-14

[5]

晶圆贴膜设备及晶圆贴膜方法 [P].

郭东谕 ;

陈聪 ;

宋喆宏 ;

李平 ;

李扬 .

中国专利 :CN119626966B ,2025-12-30

[6]

晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置 [P].

张明星 .

中国专利 :CN102103987A ,2011-06-22

[7]

晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置 [P].

陈鹏 ;

周厚德 ;

李明亮 .

中国专利 :CN110223942A ,2019-09-10

[8]

晶圆载台和晶圆覆膜设备 [P].

何正鸿 ;

吴春悦 ;

邹浩林 .

中国专利 :CN222233607U ,2024-12-24

[9]

晶圆移载装置 [P].

唐寒风 ;

黄海 ;

陈志勇 .

中国专利 :CN222749444U ,2025-04-11

[10]

晶圆贴膜设备 [P].

黄平 .

中国专利 :CN223712713U ,2025-12-23

← 1 2 3 4 5 →