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晶圆载移设备及贴膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510496606.7
申请日：
2025-04-21
公开(公告)号：
CN120300045A
公开(公告)日：
2025-07-11
发明(设计)人：
王建勋
杨善斌
范志平
申请人：
广东思沃先进装备有限公司
申请人地址：
523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路2号13栋
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/68
H01L21/67
代理机构：
东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450
代理人：
马建宁
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
东莞市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-05 | 授权 | 授权 |
| 2025-07-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250421 |