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一种晶圆片贴膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420731892.1
申请日：
2024-04-09
公开(公告)号：
CN222106618U
公开(公告)日：
2024-12-03
发明(设计)人：
吴俊
袁志伟
周永建
申请人：
珠海市中芯集成电路有限公司
申请人地址：
519000 广东省珠海市香洲区福田路18号1栋1层103-019室（集中办公区）
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/687
H01L21/677
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
张芬
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
珠海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-03 | 授权 | 授权 |