一种氧化铜薄膜的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811441242.9
申请日
2018-11-29
公开(公告)号
CN111239203B
公开(公告)日
2020-06-05
发明(设计)人
杨航 关亚风
申请人
申请人地址
116023 辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
IPC主分类号
G01N2712
IPC分类号
B82Y3000
代理机构
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人
马驰
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种氧化铜薄膜的制备方法 [P]. 
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[4]
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[5]
一种氧化铜半导体薄膜的制备方法 [P]. 
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[6]
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[7]
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[9]
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[10]
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