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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-07-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101490725943 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2013100614564 申请日:20130227 |
| 2013-06-12 | 公开 | 公开 |
| 2017-03-15 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101748502227 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2013100614564 申请公布日:20130612 |
| 2015-10-28 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101722725208 IPC(主分类):H01L 21/60 专利申请号:2013100614564 变更事项:发明人 变更前:张童龙;沈海军;张卫红 变更后:张卫红;沈海军 |