衬底处理装置用气体导入管

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201330456061.5

申请日：

2013-09-18

公开(公告)号：

CN302760852S

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

森田慎也林孝德清水直治嵨信人

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;金杨

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移主分类号:15-99 登记生效日:20181127 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社日立国际电气变更后权利人:株式会社国际电气变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都
2014-03-12	授权	授权

共 50 条

[1]

衬底处理管、衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

李贤珠 ;

金炳勋 ;

金玹彻 ;

李在珩 ;

孔炳焕 .

韩国专利 :CN117364058A ,2024-01-09

[2]

衬底处理装置用气体供给喷嘴 [P].

吉田秀成 ;

佐佐木隆史 ;

西堂周平 .

中国专利 :CN304635968S ,2018-05-18

[3]

衬底处理装置用气体供给喷嘴 [P].

森田慎也 ;

林孝德 ;

清水直治 ;

嵨信人 .

中国专利 :CN302760851S ,2014-03-12

[4]

衬底处理装置用气体供给喷嘴 [P].

森田慎也 ;

三宅正浩 ;

寺崎昌人 .

中国专利 :CN303532538S ,2015-12-30

[5]

衬底处理装置、气体导入轴以及气体供给板 [P].

西谷英辅 ;

丰田一行 .

中国专利 :CN105448637A ,2016-03-30

[6]

基板处理装置用气体导入管 [P].

岛田宽哲 .

中国专利 :CN305448153S ,2019-11-19

[7]

基板处理装置用气体导入管 [P].

村田慧 ;

森田慎也 .

中国专利 :CN305531563S ,2020-01-03

[8]

基板处理装置用气体导入管 [P].

村田慧 .

日本专利 :CN309392708S ,2025-07-18

[9]

衬底处理装置用舟皿 [P].

森田慎也 ;

松本尚树 ;

高木康祐 .

中国专利 :CN302931659S ,2014-09-03

[10]

衬底处理装置用舟皿 [P].

前田喜世彦 ;

高木康祐 ;

松本尚树 ;

浦野裕司 ;

小前泰彰 .

中国专利 :CN302760850S ,2014-03-12

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