光刻胶图案修整方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210599256.X

申请日：

2012-12-31

公开(公告)号：

CN103258720B

公开(公告)日：

2016-05-18

发明(设计)人：

C-B·徐

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L21033

IPC分类号：

G03F700

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈哲锋

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-18	授权	授权
2013-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101520128972 IPC(主分类):H01L 21/033 专利申请号:201210599256X 申请日:20121231

共 50 条

[1]

光刻胶图案的修整方法 [P].

C-B·徐 .

中国专利 :CN103186038B ,2013-07-03

[2]

光刻胶图案修剪方法 [P].

G·珀勒斯 ;

C-B·徐 ;

K·劳维尔 .

中国专利 :CN103913946A ,2014-07-09

[3]

光刻胶和光刻胶图形的优化方法 [P].

林益世 ;

黄宜斌 .

中国专利 :CN102262357A ,2011-11-30

[4]

光刻胶修整方法 [P].

唐果 .

中国专利 :CN100444025C ,2005-03-02

[5]

利用激光的光刻胶图案修整方法 [P].

朴在雄 ;

朴勋 ;

金甫谦 ;

卢俊亨 ;

全在赫 ;

金仙株 .

中国专利 :CN113207285A ,2021-08-03

[6]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[7]

光刻胶图案增厚材料、包含它的光刻胶图案及其应用 [P].

小泽美和 ;

野崎耕司 ;

並木崇久 ;

今纯一 .

中国专利 :CN1477447A ,2004-02-25

[8]

光刻胶图案的制造方法 [P].

朱联合 ;

刘丁 ;

王绪根 ;

姚振海 .

中国专利 :CN118466121A ,2024-08-09

[9]

形成光刻胶图案的方法 [P].

汪钉崇 ;

蓝受龙 .

中国专利 :CN101140421B ,2008-03-12

[10]

形成光刻胶图案的方法 [P].

C·J·史密斯 ;

S·M·休斯 ;

C·M·J·霍克 ;

A·M·克罗尔 ;

A·G·纳吉 ;

P·M·瓦恩巴杰 .

中国专利 :CN100468642C ,2007-09-26

← 1 2 3 4 5 →