SOI BJT应变SiGe回型沟道BiCMOS集成器件及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210244421.X

申请日：

2012-07-16

公开(公告)号：

CN102723339A

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

宋建军胡辉勇舒斌张鹤鸣宣荣喜李妤晨吕懿郝跃

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

H01L2712

IPC分类号：

H01L2184

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101476734464 IPC(主分类):H01L 27/12 专利申请号:201210244421X 申请日:20120716
2012-10-10	公开	公开
2015-07-01	授权	授权
2021-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/12 申请日:20120716 授权公告日:20150701 终止日期:20200716

共 50 条

[21]

一种三多晶应变SiGe BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

宣荣喜 ;

周春宇 ;

舒斌 ;

吕懿 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102820306B ,2012-12-12

[22]

一种基于SOI衬底的应变SiGe平面Si基BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

周春宇 ;

宋建军 ;

舒斌 ;

胡辉勇 ;

宣荣喜 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738176A ,2012-10-17

[23]

一种应变SiGe回型沟道NMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宣荣喜 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

吕懿 ;

王海栋 ;

王斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102751331B ,2012-10-24

[24]

一种垂直沟道混合晶面应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

周春宇 ;

舒斌 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738154A ,2012-10-17

[25]

一种双应变平面BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

王斌 ;

宣荣喜 ;

胡辉勇 ;

宋建军 ;

舒斌 ;

王海栋 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102820295A ,2012-12-12

[26]

一种混合晶面平面应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

李妤晨 ;

宋建军 ;

胡辉勇 ;

宣荣喜 ;

吕懿 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738165B ,2012-10-17

[27]

一种基于平面应变SiGe HBT器件的BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

王海栋 ;

舒斌 ;

宣荣喜 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738149A ,2012-10-17

[28]

一种基于SOI SiGe HBT的应变Si BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

王海栋 ;

胡辉勇 ;

宋建军 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102916015A ,2013-02-06

[29]

一种SOI应变SiGe CMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

王斌 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

王海栋 ;

吕懿 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738179B ,2012-10-17

[30]

一种三应变全平面SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

王斌 ;

宣荣喜 ;

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

吕懿 ;

周春宇 ;

宋建军 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738174B ,2012-10-17

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