晶圆盒承载装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721396009.4

申请日：

2017-10-26

公开(公告)号：

CN207602534U

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

叶秀珢郑吉宸郑婕彤

申请人：

申请人地址：

中国台湾苗栗县

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446

代理人：

武玉琴;王月春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片承载盒 [P].

吴功 ;

欧志荣 .

中国专利 :CN207474434U ,2018-06-08

[2]

晶圆承载盒 [P].

祝璐琨 ;

曹巍 ;

陈雷刚 .

中国专利 :CN210110732U ,2020-02-21

[3]

晶圆定位承载装置 [P].

郭志弘 ;

郭吟萱 ;

李士正 .

中国专利 :CN201307586Y ,2009-09-09

[4]

晶圆盒承载装置和晶圆盒搬运机器人 [P].

黄宗勇 ;

丁凯旋 ;

杨超 .

中国专利 :CN214624997U ,2021-11-05

[5]

晶圆承载装置 [P].

廖容呈 ;

张耀中 .

中国专利 :CN201859863U ,2011-06-08

[6]

晶圆承载装置 [P].

马彪 .

中国专利 :CN221275875U ,2024-07-05

[7]

晶圆承载装置 [P].

张猷治 .

中国专利 :CN2558077Y ,2003-06-25

[8]

晶圆承载装置 [P].

龙浩 ;

宋新星 ;

王建新 .

中国专利 :CN212277166U ,2021-01-01

[9]

晶圆承载装置 [P].

夏威 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208753292U ,2019-04-16

[10]

晶圆承载装置 [P].

李博 ;

简子杰 ;

冉鸿飞 .

中国专利 :CN206574698U ,2017-10-20

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