半导体器件外延生长的隐形结构衬底

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210534126.8
申请日
2012-12-12
公开(公告)号
CN102978695A
公开(公告)日
2013-03-20
发明(设计)人
罗睿宏 梁智文 张国义
申请人
申请人地址
523518 广东省东莞市企石镇科技工业园
IPC主分类号
C30B2518
IPC分类号
C30B2938
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
谭一兵;王东亮
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
GaN外延衬底、半导体器件以及制造GaN外延衬底和半导体器件的方法 [P]. 
中畑成二 ;
元木健作 .
中国专利 :CN101568671A ,2009-10-28
[2]
半导体衬底及在半导体衬底上通过外延生长制造的半导体器件 [P]. 
橘浩一 ;
本乡智惠 ;
布上真也 ;
小野村正明 .
中国专利 :CN1741296A ,2006-03-01
[3]
用于生长外延晶体的半导体衬底及半导体器件 [P]. 
阿列克谢·伊瓦诺夫 ;
朱廷刚 ;
伊迪亚·乔德瑞 ;
苗操 ;
王科 ;
王东盛 ;
张葶葶 ;
魏鸿源 .
中国专利 :CN104681411A ,2015-06-03
[4]
半导体外延结构和半导体外延生长方法 [P]. 
张海林 ;
陈龙 ;
刘庆波 ;
黎子兰 .
中国专利 :CN120187055A ,2025-06-20
[5]
半导体外延生长衬底 [P]. 
彭晖 .
中国专利 :CN102856451A ,2013-01-02
[6]
半导体外延生长衬底 [P]. 
彭晖 .
中国专利 :CN203085624U ,2013-07-24
[7]
半导体衬底、外延片和半导体器件 [P]. 
丁涛 ;
王朋 ;
段焕涛 .
中国专利 :CN120749001A ,2025-10-03
[8]
本征外延生长方法、半导体结构和半导体器件 [P]. 
陆爱军 .
中国专利 :CN119811985A ,2025-04-11
[9]
III族氮化物半导体衬底、外延衬底及半导体器件 [P]. 
石桥惠二 .
中国专利 :CN102471931B ,2012-05-23
[10]
III族氮化物半导体衬底、外延衬底及半导体器件 [P]. 
石桥惠二 .
中国专利 :CN102576787A ,2012-07-11