双镶嵌结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810040373.6

申请日：

2008-07-08

公开(公告)号：

CN101625993B

公开(公告)日：

2010-01-13

发明(设计)人：

周鸣尹晓明

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23522

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-11	授权	授权
2010-01-13	公开	公开
2010-03-10	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

双镶嵌结构及其制作方法 [P].

李文明 .

中国专利 :CN102044488A ,2011-05-04

[2]

双镶嵌结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101625992A ,2010-01-13

[3]

双镶嵌结构的制作方法 [P].

梁昆约 ;

熊涛 ;

朱宝富 .

中国专利 :CN101295669A ,2008-10-29

[4]

半导体器件、双镶嵌结构的制作方法 [P].

周鸣 ;

孙武 .

中国专利 :CN101740474B ,2010-06-16

[5]

双镶嵌结构的制作方法 [P].

刘安淇 .

中国专利 :CN101123214A ,2008-02-13

[6]

双镶嵌式开口结构的制作方法 [P].

吴孟韦 ;

梁恩山 ;

李铿尧 ;

吴素华 .

中国专利 :CN1591818A ,2005-03-09

[7]

制作铜双镶嵌结构的方法 [P].

邓宪哲 ;

林进富 ;

陈孟祺 .

中国专利 :CN1866495A ,2006-11-22

[8]

双镶嵌结构及其制造方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN102403301A ,2012-04-04

[9]

双镶嵌结构及其制造方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN102376597A ,2012-03-14

[10]

半导体结构及其制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103681596B ,2014-03-26

← 1 2 3 4 5 →