学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

等离子体处理装置

被引：0
申请号：
CN202210841074.2
申请日：
2022-07-18
公开(公告)号：
CN115692153A
公开(公告)日：
2023-02-03
发明(设计)人：
日高康贵 小川纮矢
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;徐飞跃
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-02-03 公开 公开
共 50 条
[1]
等离子体处理装置 [P]. 
日高康贵 ;
风间晃一 ;
佐藤孝纪 ;
四本松美优 ;
加藤武宏 .
日本专利 :CN117716479A ,2024-03-15
[2]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
藤井徹 ;
今田祥友 ;
大槻兴平 .
日本专利 :CN111383899B ,2024-07-12
[3]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
藤井徹 ;
今田祥友 ;
大槻兴平 .
中国专利 :CN111383899A ,2020-07-07
[4]
等离子体处理装置 [P]. 
高桥秀一 ;
宫馆孝明 ;
高栖纪尚 ;
伊藤悦治 ;
横田聪裕 ;
奥西直彦 .
中国专利 :CN109559968B ,2019-04-02
[5]
等离子体处理系统和等离子体处理装置 [P]. 
瀬野晃汰 ;
有吉文彬 .
日本专利 :CN118140297A ,2024-06-04
[6]
上部电极、等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
田中善嗣 ;
南雅人 .
中国专利 :CN100431097C ,2006-12-27
[7]
等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P]. 
矢幡将二郎 ;
佐藤徹治 .
中国专利 :CN113345787A ,2021-09-03
[8]
等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P]. 
岸宏树 ;
徐智洙 .
中国专利 :CN106920733B ,2017-07-04
[9]
等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P]. 
青木裕介 ;
森北信也 ;
户花敏胜 ;
高田郁弥 .
中国专利 :CN111477531A ,2020-07-31
[10]
等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P]. 
舆水地盐 ;
山泽阳平 .
中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27
12345