等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811125428.3

申请日：

2018-09-26

公开(公告)号：

CN109559968B

公开(公告)日：

2019-04-02

发明(设计)人：

高桥秀一宫馆孝明高栖纪尚伊藤悦治横田聪裕奥西直彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-02	公开	公开
2021-04-13	授权	授权
2019-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180926

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

早川欣延 ;

花冈秀敏 ;

儿玉法明 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101047113A ,2007-10-03

[2]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

青木裕介 ;

森北信也 ;

户花敏胜 ;

高田郁弥 .

中国专利 :CN111477531A ,2020-07-31

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN102522304A ,2012-06-27

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[5]

等离子体处理方法及等离子体处理装置 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

岩田学 ;

田中谕志 .

中国专利 :CN101667534A ,2010-03-10

[6]

等离子体处理装置以及等离子体处理方法 [P].

久保田绅治 .

中国专利 :CN107452589B ,2017-12-08

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松本直树 ;

舆水地盐 ;

舆石公 .

中国专利 :CN100446637C ,2006-10-04

[8]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

大矢欣伸 ;

田边明良 ;

安田吉纪 .

中国专利 :CN104599930A ,2015-05-06

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

舆水地盐 ;

山泽阳平 .

中国专利 :CN101847558B ,2010-09-29

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

进藤崇央 ;

冈本清一 ;

大友洋 ;

菊地贵伦 ;

松土龙夫 ;

森田靖 ;

佐久间隆 .

中国专利 :CN113936985A ,2022-01-14

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