碘类蚀刻液及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310451351.X

申请日：

2013-09-27

公开(公告)号：

CN103710704A

公开(公告)日：

2014-04-09

发明(设计)人：

永岛和明高桥秀树

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23F110

IPC分类号：

代理机构：

上海一平知识产权代理有限公司 31266

代理人：

祝莲君;刘真真

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F 1/10 申请公布日:20140409
2014-04-09	公开	公开
2015-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/10 专利申请号:201310451351X 申请日:20130927 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101622998862

共 50 条

[1]

蚀刻方法及蚀刻液 [P].

宋智辉 ;

王辉 ;

廖辉华 ;

康报虹 .

中国专利 :CN115132584A ,2022-09-30

[2]

蚀刻液及蚀刻方法 [P].

荻野悠贵 ;

东嶋真美 ;

林崎将大 ;

王谷稔 .

中国专利 :CN107208280B ,2017-09-26

[3]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

清水寿和 .

中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03

[4]

蚀刻液供应装置、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

崔浩根 ;

郑培铉 ;

金龙佑 .

中国专利 :CN101140374A ,2008-03-12

[5]

蚀刻液的再生方法，蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

伊豆田信彦 ;

渡津春留 .

中国专利 :CN101303976A ,2008-11-12

[6]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

大和田拓央 .

中国专利 :CN109328394A ,2019-02-12

[7]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[8]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

山口隆雄 ;

石川典夫 .

中国专利 :CN103046050A ,2013-04-17

[9]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

[10]

蚀刻液喷射装置及蚀刻方法 [P].

李文钦 ;

林承贤 .

中国专利 :CN101113523B ,2008-01-30

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