工艺终点检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320571342.X

申请日：

2013-09-13

公开(公告)号：

CN203456423U

公开(公告)日：

2014-02-26

发明(设计)人：

储佳

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高斯路497号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;林彦之

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-26	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械抛光终点检测装置 [P].

王军星 ;

郭振宇 ;

沈攀 ;

雷殿波 ;

路新春 .

中国专利 :CN206653253U ,2017-11-21

[2]

化学机械抛光终点检测装置 [P].

王军星 ;

郭振宇 ;

沈攀 ;

雷殿波 ;

路新春 .

中国专利 :CN106926110A ,2017-07-07

[3]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[4]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

[5]

终点检测装置及终点检测方法 [P].

王坚 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN103594390A ,2014-02-19

[6]

田径用终点检测装置 [P].

宋小凤 .

中国专利 :CN205815066U ,2016-12-21

[7]

田径用终点检测装置 [P].

郭志勇 ;

尹伊 ;

牛峥 ;

孙得朋 ;

邓澄 .

中国专利 :CN207187060U ,2018-04-06

[8]

田径用终点检测装置 [P].

郑超 .

中国专利 :CN204261302U ,2015-04-15

[9]

电涡流金属膜厚度终点检测装置 [P].

孟永钢 ;

曲子濂 ;

乐承宁 ;

赵德文 ;

赵乾 ;

路新春 .

中国专利 :CN102049733A ,2011-05-11

[10]

终点检测装置及刻蚀设备 [P].

张涛 ;

张彬彬 ;

苏财钰 ;

陈洋 ;

王鹏鹏 .

中国专利 :CN217983273U ,2022-12-06

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