终点检测装置及终点检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210290651.X

申请日：

2012-08-15

公开(公告)号：

CN103594390A

公开(公告)日：

2014-02-19

发明(设计)人：

王坚贾照伟王晖

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陆嘉

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-20	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/66 变更事项:专利权人变更前:盛美半导体设备(上海)有限公司变更后:盛美半导体设备(上海)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区中国上海张江高科技园区蔡伦路1690号4幢变更后:201203 上海市浦东新区自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
2015-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:201210290651X 申请日:20120815 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625655673
2018-07-06	授权	授权
2014-02-19	公开	公开

共 50 条

[1]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

[2]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[3]

工艺终点检测装置 [P].

储佳 .

中国专利 :CN203456423U ,2014-02-26

[4]

刻蚀终点检测方法 [P].

罗永坚 ;

张颂周 ;

任昱 ;

朱骏 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04

[5]

终点检测装置、蚀刻控制系统、终点检测方法以及记录介质 [P].

今西三千绘 ;

波田美耶子 ;

坂口有平 ;

南雅和 ;

高桥基延 .

日本专利 :CN120236980A ,2025-07-01

[6]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

陈昊 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016545A ,2024-05-10

[7]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

林晓阳 ;

王新河 ;

常晓阳 ;

李燊 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114724915A ,2022-07-08

[8]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582699A ,2022-06-03

[9]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

常晓阳 ;

王新河 ;

林晓阳 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114582700B ,2024-11-19

[10]

刻蚀终点检测方法及装置 [P].

林晓阳 ;

王新河 ;

常晓阳 ;

李燊 ;

赵巍胜 .

中国专利 :CN114724915B ,2024-12-13

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