终点检测装置和终点检测系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020137122.6

申请日：

2020-01-21

公开(公告)号：

CN211238175U

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

刘昕董伯辉孙启磊王玉王立

申请人：

申请人地址：

300000 天津市西青区西青经济开发区兴华道19号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京睿派知识产权代理事务所(普通合伙) 11597

代理人：

刘锋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-11	授权	授权

共 50 条

[1]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

[2]

终点检测装置及终点检测方法 [P].

王坚 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN103594390A ,2014-02-19

[3]

光学终点检测系统 [P].

巴拉苏布拉马尼恩·拉马钱德雷 ;

石井雅人 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN103493192A ,2014-01-01

[4]

语音终点检测装置、系统和方法 [P].

李京澈 ;

赵在珉 .

中国专利 :CN109003626A ,2018-12-14

[5]

工艺终点检测装置 [P].

储佳 .

中国专利 :CN203456423U ,2014-02-26

[6]

刻蚀终点检测方法 [P].

罗永坚 ;

张颂周 ;

任昱 ;

朱骏 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04

[7]

终点检测装置、蚀刻控制系统、终点检测方法以及记录介质 [P].

今西三千绘 ;

波田美耶子 ;

坂口有平 ;

南雅和 ;

高桥基延 .

日本专利 :CN120236980A ,2025-07-01

[8]

红外线终点检测系统 [P].

耶海尔·哥特科斯 ;

罗德尼·凯斯特勒 .

中国专利 :CN1498415A ,2004-05-19

[9]

刻蚀终点检测系统及方法 [P].

杨剑 ;

杨俊 ;

梁晓明 ;

冯锐 ;

朱普磊 .

中国专利 :CN118352215A ,2024-07-16

[10]

田径用终点检测装置 [P].

宋小凤 .

中国专利 :CN205815066U ,2016-12-21

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