光学终点检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280019970.5

申请日：

2012-04-27

公开(公告)号：

CN103493192A

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

巴拉苏布拉马尼恩·拉马钱德雷石井雅人阿伦·缪尔·亨特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	授权	授权
2014-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582461209 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2012800199705 申请日:20120427
2014-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[2]

具有反射终点检测的蚀刻处理系统 [P].

M·N·格芮姆比戈安 ;

K·K·恩古耶 .

中国专利 :CN110383449A ,2019-10-25

[3]

田径比赛用终点检测系统 [P].

高翔 ;

罗佳银 .

中国专利 :CN209173348U ,2019-07-30

[4]

红外线终点检测系统 [P].

耶海尔·哥特科斯 ;

罗德尼·凯斯特勒 .

中国专利 :CN1498415A ,2004-05-19

[5]

刻蚀终点检测系统及方法 [P].

杨剑 ;

杨俊 ;

梁晓明 ;

冯锐 ;

朱普磊 .

中国专利 :CN118352215A ,2024-07-16

[6]

刻蚀终点检测方法 [P].

罗永坚 ;

张颂周 ;

任昱 ;

朱骏 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04

[7]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

陈昊 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016545A ,2024-05-10

[8]

一种研磨终点检测系统和检测方法 [P].

周庆亚 ;

张为强 ;

李嘉浪 ;

白琨 ;

李坤 .

中国专利 :CN118362509A ,2024-07-19

[9]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

张震 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016546A ,2024-05-10

[10]

语音终点检测装置、系统和方法 [P].

李京澈 ;

赵在珉 .

中国专利 :CN109003626A ,2018-12-14

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