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刻蚀终点检测装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310056144.8
申请日：
2023-01-19
公开(公告)号：
CN118016546A
公开(公告)日：
2024-05-10
发明(设计)人：
张震
金钟洙
车翰宣
申请人：
上海传芯半导体有限公司
申请人地址：
201306 上海市浦东新区层林路688号1号楼5楼
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-10 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20230119 |