终点检测装置及刻蚀设备

被引：0

申请号：

CN202222229455.3

申请日：

2022-08-23

公开(公告)号：

CN217983274U

公开(公告)日：

2022-12-06

发明(设计)人：

张涛张彬彬苏财钰陈洋王鹏鹏

申请人：

申请人地址：

402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

张博

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

终点检测装置及刻蚀设备 [P].

张涛 ;

张彬彬 ;

苏财钰 ;

陈洋 ;

王鹏鹏 .

中国专利 :CN217983273U ,2022-12-06

[2]

刻蚀终点检测设备 [P].

张黎明 ;

丁亮亮 ;

肖亦然 ;

郭军涛 ;

云燕午 ;

唐凯 .

中国专利 :CN309346134S ,2025-06-20

[3]

刻蚀终点检测设备 [P].

张黎明 ;

丁亮亮 ;

肖亦然 ;

郭军涛 ;

云燕午 ;

唐凯 .

中国专利 :CN309478657S ,2025-09-05

[4]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

陈昊 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016545A ,2024-05-10

[5]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

张震 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016546A ,2024-05-10

[6]

一种刻蚀终点检测装置 [P].

张家祥 ;

姜晓辉 ;

郭建 .

中国专利 :CN202712131U ,2013-01-30

[7]

一种刻蚀终点检测装置 [P].

雷胜 .

中国专利 :CN215895164U ,2022-02-22

[8]

刻蚀终点检测系统及方法 [P].

杨剑 ;

杨俊 ;

梁晓明 ;

冯锐 ;

朱普磊 .

中国专利 :CN118352215A ,2024-07-16

[9]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

[10]

终点检测装置及终点检测方法 [P].

王坚 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN103594390A ,2014-02-19

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