一种刻蚀终点检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220414219.2

申请日：

2012-08-20

公开(公告)号：

CN202712131U

公开(公告)日：

2013-01-30

发明(设计)人：

张家祥姜晓辉郭建

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

黄志华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20120820 授权公告日:20130130
2015-07-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717733421 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2012204142192 变更事项:专利权人变更前权利人:北京京东方光电科技有限公司变更后权利人:京东方科技集团股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:100176 北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号变更后权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:北京京东方光电科技有限公司登记生效日:20150623
2013-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种刻蚀终点检测装置 [P].

雷胜 .

中国专利 :CN215895164U ,2022-02-22

[2]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

陈昊 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016545A ,2024-05-10

[3]

终点检测装置及刻蚀设备 [P].

张涛 ;

张彬彬 ;

苏财钰 ;

陈洋 ;

王鹏鹏 .

中国专利 :CN217983273U ,2022-12-06

[4]

一种刻蚀终点检测装置 [P].

郭子仲 ;

李军竹 .

中国专利 :CN222168333U ,2024-12-13

[5]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

张震 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016546A ,2024-05-10

[6]

终点检测装置及刻蚀设备 [P].

张涛 ;

张彬彬 ;

苏财钰 ;

陈洋 ;

王鹏鹏 .

中国专利 :CN217983274U ,2022-12-06

[7]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[8]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

[9]

终点检测装置及终点检测方法 [P].

王坚 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN103594390A ,2014-02-19

[10]

工艺终点检测装置 [P].

储佳 .

中国专利 :CN203456423U ,2014-02-26

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