一种刻蚀终点检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122032866.9

申请日：

2021-08-26

公开(公告)号：

CN215895164U

公开(公告)日：

2022-02-22

发明(设计)人：

雷胜

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区东亭街道春合南苑209号-13

IPC主分类号：

G02F113

IPC分类号：

代理机构：

东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙) 44777

代理人：

魏昕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种刻蚀终点检测装置 [P].

张家祥 ;

姜晓辉 ;

郭建 .

中国专利 :CN202712131U ,2013-01-30

[2]

终点检测装置及刻蚀设备 [P].

张涛 ;

张彬彬 ;

苏财钰 ;

陈洋 ;

王鹏鹏 .

中国专利 :CN217983273U ,2022-12-06

[3]

一种刻蚀终点检测装置 [P].

郭子仲 ;

李军竹 .

中国专利 :CN222168333U ,2024-12-13

[4]

终点检测装置及刻蚀设备 [P].

张涛 ;

张彬彬 ;

苏财钰 ;

陈洋 ;

王鹏鹏 .

中国专利 :CN217983274U ,2022-12-06

[5]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

陈昊 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016545A ,2024-05-10

[6]

刻蚀终点检测装置及方法 [P].

张震 ;

金钟洙 ;

车翰宣 .

中国专利 :CN118016546A ,2024-05-10

[7]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[8]

终点检测方法及终点检测装置 [P].

山下武志 ;

山口峰生 .

中国专利 :CN1306568C ,2005-02-02

[9]

终点检测装置及终点检测方法 [P].

王坚 ;

贾照伟 ;

王晖 .

中国专利 :CN103594390A ,2014-02-19

[10]

工艺终点检测装置 [P].

储佳 .

中国专利 :CN203456423U ,2014-02-26

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