一种研磨终点检测系统和检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410592399.0

申请日：

2024-05-13

公开(公告)号：

CN118362509A

公开(公告)日：

2024-07-19

发明(设计)人：

周庆亚张为强李嘉浪白琨李坤

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

G01N21/17

IPC分类号：

G01N21/01

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

刘贺秋

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-19	公开	公开
2024-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/17申请日:20240513

共 50 条

[1]

终点检测装置和终点检测系统 [P].

刘昕 ;

董伯辉 ;

孙启磊 ;

王玉 ;

王立 .

中国专利 :CN211238175U ,2020-08-11

[2]

化学机械研磨及其终点检测方法 [P].

李健 .

中国专利 :CN101456151A ,2009-06-17

[3]

光学终点检测系统 [P].

巴拉苏布拉马尼恩·拉马钱德雷 ;

石井雅人 ;

阿伦·缪尔·亨特 .

中国专利 :CN103493192A ,2014-01-01

[4]

刻蚀终点检测方法 [P].

罗永坚 ;

张颂周 ;

任昱 ;

朱骏 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN104392946A ,2015-03-04

[5]

一种光谱检测设备、终点检测系统和方法 [P].

伊凡·比久科夫 .

中国专利 :CN112213272B ,2024-01-12

[6]

一种光谱检测设备、终点检测系统和方法 [P].

伊凡·比久科夫 .

中国专利 :CN112213272A ,2021-01-12

[7]

语音终点检测装置、系统和方法 [P].

李京澈 ;

赵在珉 .

中国专利 :CN109003626A ,2018-12-14

[8]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

方铭国 .

中国专利 :CN121215542A ,2025-12-26

[9]

一种等离子体刻蚀终点检测系统及刻蚀终点检测方法 [P].

牛夷 ;

姜晶 ;

陈浩林 ;

李璇 ;

李志强 ;

王超 .

中国专利 :CN117451636A ,2024-01-26

[10]

研磨装置和研磨装置的研磨终点检测方法 [P].

中村裕贵 ;

铃木佑多 ;

渡边裕辅 ;

松田道昭 ;

山本弘贵 ;

高桥太郎 .

日本专利 :CN117836091A ,2024-04-05

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