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脆性材料基板的分割装置和分割方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010104811.1
申请日：
2020-02-20
公开(公告)号：
CN111716575A
公开(公告)日：
2020-09-29
发明(设计)人：
三谷卓朗
田村健太
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
B28D504
IPC分类号：
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
张晶;刘言
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B28D 5/04 申请公布日:20200929 |
| 2020-09-29 | 公开 | 公开 |
| 2022-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B28D 5/04 申请日:20200220 |