用于半导体废气处理设备的安全监测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110468567.1

申请日：

2021-04-28

公开(公告)号：

CN113154264B

公开(公告)日：

2021-07-23

发明(设计)人：

王松薛山杨春水张坤黄一桐张浩

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

G01M304

IPC分类号：

F17D500 G01K722 G01D534 G01L1300 G08B2118

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李文丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	授权	授权
2021-07-23	公开	公开
2021-08-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F17D 5/00 申请日:20210428

共 50 条

[1]

用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 .

中国专利 :CN116510476B ,2025-08-29

[2]

半导体废气处理设备 [P].

林仲炫 ;

金相辉 ;

申东珍 .

中国专利 :CN217527007U ,2022-10-04

[3]

半导体废气处理设备 [P].

张昱翀 ;

石天宇 .

中国专利 :CN221015344U ,2024-05-28

[4]

半导体废气处理设备 [P].

章文军 ;

杨春水 ;

宁腾飞 ;

陈彦岗 ;

杨春涛 ;

王继飞 ;

张坤 ;

闫萧 ;

蔡传涛 ;

席涛涛 ;

王磊 .

中国专利 :CN305575641S ,2020-01-24

[5]

一种半导体废气处理设备的水系统 [P].

杨春涛 ;

张坤 ;

杨春水 .

中国专利 :CN223628350U ,2025-12-05

[6]

酸再生废气处理的安全监测系统 [P].

龙国平 ;

胡旭 .

中国专利 :CN217092776U ,2022-08-02

[7]

应用于半导体废气处理设备的废气反应腔体 [P].

张桂华 ;

刘畅 ;

伊小念 ;

王天意 .

中国专利 :CN120313061A ,2025-07-15

[8]

半导体废气的处理设备 [P].

李建霖 .

中国专利 :CN204034529U ,2014-12-24

[9]

半导体废气处理装置和半导体废气处理方法 [P].

张昱翀 ;

李轩 ;

程玉雪 .

中国专利 :CN117358025A ,2024-01-09

[10]

半导体废气处理设备 [P].

宁腾飞 ;

李轩 .

中国专利 :CN115518501A ,2022-12-27

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